等离子体化学气相沉积系统

PECVD等离子体化学气相沉积系统

1. 清洗镀膜一气呵成，杜绝二次污染；

2. 上开启式结构，方便观察试样；

3. 产品采用全自动控制方式，触摸屏，数字化显示；

4. 设备一体化程度高；

5. 稳定的射频电源，均匀的温度分布，提高成膜质量；

产品型号 NBD-PECVD1200-80TI

电气规格 AC220V    4KW

可达温度 1200 ℃

连续温度 1150℃

可达加热速率 ≤  20 ℃/分钟

射频电源 300或500W   13.56MHz

炉管尺寸 Φ80*1200mm

PECVD等离子体化学气相沉积系统

控制系统  

1、NBD-101EP嵌入式操作系统中英文互换图形界面，7寸真彩触屏输入，智能式人机对话模式，实时加热功率显示，非线性式样温度修正；实验报告自主生成，实验数据无限次导出。

2、实验过程更加直观，操作更加便捷；3、具有超温报警、断偶提示、漏电保护等功能。

温度精度 +/- 1 ℃

加热元件  Mo掺杂的Fe-Cr-Al合金

密封系统    

真空度：≤10Pa（机械泵）

压力测量与监控  采用数显真空计，可使设备真空度更加直观，实验结果更加准确。

供气系统  采用两路质子流量计精确控制气体流速，与设备集成为一体；

净重 360KG

设备使用注意事项 

1、设备炉膛温度≥300℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害；

2、设备使用时，炉管内压力不得超过0.125MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏；

3、真空下使用时，设备使用温度不得超过800℃。

4、供气钢瓶内部气压较高，向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在选购试验用小压力减压阀，减压阀量程为0.01MPa-0.15MPa,使用时会更加精确安全。

5、当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压 相当，保持在常压状态；

6、高纯石英管的长时间使用温度≦1100℃

7、加热的实验时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若绝对压力表读数大于0.15MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）

服务支持 1年质保，提供终身支持（保修范围内不包括易耗部件，例如炉管和密封圈等）。